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商品案内

材料・製品・部品などからの発生有機ガス分析を行います。

■実験室や工場等、環境空気中の有機ガス成分を、活性炭やテナックス捕集管で捕集し、加熱脱着装置ーGC/MS装置を用いることにより、高感度に成分分析を行います。

■ 背景
半導体、センサー等のクリーンな環境が要求される製造工場において、材料、部品等から発生する有機ガス(アウトガス)が原因となり、接点障害や腐食等、製品や装置にトラブルが発生することがあります。
弊社では、現地の空気を適切な方法で採取し、分析することで化合物を特定し、原因の究明を行います。

1.測定方法・測定装置

【特徴】

@捕集管に捕集したガス成分の全量を分析装置に注入ができ、低濃度化合物も検出が可能です。
A屋内、屋外等、捕集場所を選ばず試料採取ができ、且つ、短時間捕集で高感度分析が可能です。

【検出が可能な有機化合物】

次に示す多くの有機化合物の検出が可能です。

検出可能有機化合物類化合物例
アルカン エチルシクロプロパン、ヘキサデカン
アルケン イソブテン、1,3-ペンタジェン
テルペン トリシクレン、カンフェン
芳香族炭化水素 メチルベンゼン、ジメチルベンゼン
ニトリル ベンゾニトリル
アルデヒド プロパナール、ブタナール
アルコール エタノール、ヘキサノール
フェノール フェノール、クレゾール
ケトン メチルイソブチルケトン
エステル・エーテル ジエチレングリコールモノメチルエーテル
カルボン酸 安息香酸、無水フタル酸

2.測定例

【クロマトグラム(例)】


※GC/MSによるスキャン分析の結果、@〜Dの化合物が検出されました。

【ライブラリ検索結果(例)】
ピークNo
No.
物 質 名
一致率
@
1
Toluene
91
2
1,3,5-Cycloheptatriene
87
A
1
Ethylbenzene
91
2
Benzene, 1,3-dimethyl-
72
B
1
p-Xylene
93
2
o-Xylene
70
C
1
Heptane, 2,2,4,6,6-pentamethyl-
72
2
Tetradecane, 2,2-dimethyl-
64
D
1
Tetrahydrofuran, 2-propyl-
53
2
2,2,4-Trimethyl-1,3-pentanediol diisobutyrate
40

※解析の結果、トルエン、エチルべンゼン、P-キシレン等の化合物が検出されました。

お問い合わせ・申し込み方法

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