商品案内
材料・製品・部品などからの発生有機ガス分析を行います。
■実験室や工場等、環境空気中の有機ガス成分を、活性炭やテナックス捕集管で捕集し、加熱脱着装置ーＧＣ／ＭＳ装置を用いることにより、高感度に成分分析を行います。
■ 背景
半導体、センサー等のクリーンな環境が要求される製造工場において、材料、部品等から発生する有機ガス（アウトガス）が原因となり、接点障害や腐食等、製品や装置にトラブルが発生することがあります。
弊社では、現地の空気を適切な方法で採取し、分析することで化合物を特定し、原因の究明を行います。
１．測定方法・測定装置
【特徴】
①捕集管に捕集したガス成分の全量を分析装置に注入ができ、低濃度化合物も検出が可能です。
②屋内、屋外等、捕集場所を選ばず試料採取ができ、且つ、短時間捕集で高感度分析が可能です。
【検出が可能な有機化合物】
次に示す多くの有機化合物の検出が可能です。
| 検出可能有機化合物類 | 化合物例 |
|---|---|
| アルカン | エチルシクロプロパン、ヘキサデカン |
| アルケン | イソブテン、1,3-ペンタジェン |
| テルペン | トリシクレン、カンフェン |
| 芳香族炭化水素 | メチルベンゼン、ジメチルベンゼン |
| ニトリル | ベンゾニトリル |
| アルデヒド | プロパナール、ブタナール |
| アルコール | エタノール、ヘキサノール |
| フェノール | フェノール、クレゾール |
| ケトン | メチルイソブチルケトン |
| エステル・エーテル | ジエチレングリコールモノメチルエーテル |
| カルボン酸 | 安息香酸、無水フタル酸 |
２．測定例
【クロマトグラム（例）】
※GC/MSによるスキャン分析の結果、①～⑤の化合物が検出されました。
【ライブラリ検索結果（例）】
ピークNo |
No. |
物 質 名 |
一致率 |
|---|---|---|---|
① |
1 |
Toluene | 91 |
2 |
1,3,5-Cycloheptatriene | 87 |
|
② |
1 |
Ethylbenzene | 91 |
2 |
Benzene, 1,3-dimethyl- | 72 |
|
③ |
1 |
p-Xylene | 93 |
2 |
o-Xylene | 70 |
|
④ |
1 |
Heptane, 2,2,4,6,6-pentamethyl- | 72 |
2 |
Tetradecane, 2,2-dimethyl- | 64 |
|
⑤ |
1 |
Tetrahydrofuran, 2-propyl- | 53 |
2 |
2,2,4-Trimethyl-1,3-pentanediol diisobutyrate | 40 |
※解析の結果、トルエン、エチルべンゼン、Ｐ-キシレン等の化合物が検出されました。
お問い合わせ・申し込み方法
お問い合わせ、試験の申し込みは、最寄りの事業所／営業部にお願いします。
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